? 中瑞祥旋涂機 ?的使用原理適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷

要是通過高速旋轉產生的離心力將液態涂覆材料均勻地涂布在基片上，并利用溶劑揮發成膜。旋涂機通常包括滴膠、高速旋轉和干燥三個主要步驟。

工作原理

旋涂機的工作原理基于離心力和溶劑揮發。具體步驟如下：

?滴膠?：將光刻膠或其他液態材料滴注到基片表面。滴膠量根據光刻膠的粘度和基片的大小來確定，通常在1-10ml不等?

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?高速旋轉?：基片在高速旋轉下，離心力使液態材料均勻鋪展在基片上。旋轉速度一般在1500-6000轉/分之間，具體速度取決于光刻膠的性能和基片的大小?

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?溶劑揮發?：在高速旋轉過程中，溶劑逐漸揮發，形成薄膜。轉速和旋轉時間會影響薄膜的厚度和均勻性?

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不同類型旋涂機的應用

旋涂機有多種類型，適用于不同的應用場景。例如， KW-4A型勻膠機 適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝。它主要用于溶膠-凝膠實驗中的薄膜制作，通過設置不同的轉速和時間來控制薄膜的厚度和均勻性?

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旋涂過程中需要注意的問題

在旋涂過程中，需要注意以下幾點：

?邊緣液珠去除?：當旋涂粘度高或高沸點的溶劑時，邊緣液珠會影響薄膜的質量?？梢酝ㄟ^兩步法旋涂或使用棉簽吸走邊緣液珠來解決這個問題?

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?薄膜中央孔洞?：旋涂新手可能會遇到薄膜中央出現孔洞的問題，這通常是因為中央區域沒有足夠的材料沉積。可以通過調整滴膠量和旋轉速度來避免這種情況?